ns-zrxy-01高分辨率移相器
典型应用：
对焦
白光干涉
探针校准
表面扫描
物镜调整
光学移相
技术参数：
|
型号
|
ns-zrxy-01
|
|
运动轴
|
z/θx/θy
|
|
开环行程
|
θx=θy=±230μrad;z=25μm
|
|
开环分辨率
|
0.2nm/0.1μrad/0.1μrad
|
|
响应频率 空载
|
823hz
|
|
响应频率 （负载3000g）
|
247hz
|
|
刚性
|
8.2n/μm
|
|
最大负载
|
10kg
|
|
电压范围
|
-30~ 50v
|
|
接头
|
d-sub15
|
|
线长
|
1.5m
|
|
线缆最小弯曲半径
|
>15mm
|
|
材料
|
太空铝
|
|
尺寸
|
φ158×42.3mm
|
|
开孔尺寸
|
φ104mm
|
|
重量
|
1240g
|
注：闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图：
如有客户需求，三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的皇冠直营现金网官方网的技术支持与服务。
